美国开发新型环保技术

第7版(国际)
专栏：环球经纬

美国开发新型环保技术
美国国家能源部洛斯阿拉莫斯国家实验室的科学家宣布，他们已经开发出一种新型环保技术，可以大大减少生产电脑芯片和集成电路时所使用的腐蚀性物质，同时不会产生大量废水。洛斯阿拉莫斯国家实验室研制出的这种环保新技术名为SCORR。它是在高温高压下用超临界二氧化碳代替了溶媒和超级纯净水，这不仅降低了成本，也保护了环境。该研究项目的负责人克雷格·泰勒说：“在高温高压下，超临界二氧化碳呈液态，可以起溶媒的作用，在少量其他溶媒的帮助下，能有效去除芯片上残留的光致抗蚀剂。当压力和温度下降后，超临界二氧化碳呈气态挥发，使硅芯片变得干燥无尘。”