金刚石薄膜开发获重大进展

第6版(教育·科技·文化·体育)
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　　金刚石薄膜开发获重大进展
本报讯 由中威高科技有限公司研制成功的金刚石膜装置及产品，日前通过鉴定。专家认为，这是我国在新材料开发领域的新突破。
　　金刚石膜具有极其优异的物理和化学性能，如高硬度、低磨擦系数、高弹性模量、高热导、高绝缘、宽能隙和载流子的高迁移率以及这些优异性能的组合，在各个工业领域有广泛的应用前景。
　　中威公司在金刚石薄膜的应用产品开发上取得重大进展。他们开发出超硬合金刀具，解决了有色金属、玻璃纤维、碳纤维、超硬合金以及硬质合金等超难加工材料的切削加工问题，对纺织品进行改性处理研究取得成功，研制生产出等离子体刻蚀机，刻蚀线宽小于0.2微米，为我国深亚微米集成电路的设计制造打下了基础。 （华 讯）