英国科学家研制新型计算机芯片
【英国《星期日泰晤士报》8月31日文章】题:牛津梦想使微芯片小型化
英国科学家说,他们将采用离子束电路蚀刻新方法,在90年代末开始制造世界上最小的计算机芯片。
实验方法一般要求在硅片上镀上一层化学物质使其表面能够感光。当一条很细的X射线或离子束对准芯片时,就能够刻出比常规微芯片电路板通道小得多的通道。
牛津大学物理学教授乔舒亚·西尔弗认为这种方法有其不足,因为离子束击中硅片的速度太快而使其表面受到损坏,并把通道两侧的原子撞出。这将影响电路的准确性。
西尔弗的方法是使离子束以较慢的速度击中硅片表面。这可以减少损坏,但又产生了一个新的问题,即如何使速度较慢的离子束具有在硅片上蚀刻通道所需要的足够高的能量。
西尔弗说,这个问题可以通过对离子束中的离子进行充电而不是依靠它们自身的速度来解决。
西尔弗认为,牛津大学物理实验室新建成的一台电子束离子阱装置,可以用来检验这一理论。
西尔弗说,这需要两年时间准备,但是一旦基础工程完工,这台装置就可以提供低速可控多电荷离子束,用以蚀刻超薄微芯片电路板。他宣称,这台装置将是世界仅有的六台之一。
西尔弗说:“我认为我们应当能够得到大约40个纳米左右的宽度。也就是大约400个原子的宽度。这与其他技术用350个纳米得到大约3000个原子的宽度比起来,是很不错的。”

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